所有過流部件均已采用高性能復合材料，替代了90%以上的泵用金屬部件，解決了真空泵耐腐蝕問題。　高性能復合材料是一種工程級高性能復合材料(EG/PMC)， 常用于高性能產品。防腐真空泵既有優良絕緣性、耐酸性和高強度。高性能復合材料制作的真空泵配件，達到了金屬真空泵配件的同等強度，滿足了真空泵的使用要求。